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2018年04月20日

皮拉尼真空规

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电容式薄膜压力传感器
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皮拉尼规由两组灯丝(电阻)所组成,然后,然後形成威斯顿电桥。

其中一个灯丝放置于一个固定压力的空间作为参考感应头

另一个灯丝则与被测压力的腔体相同作为测量感应头

两个灯丝同时被加热。倘若这两个灯丝的分別所在环境压力不一样,则当电流流过之后其产生之热的散热程度会有所不同

灯丝电阻会因温度不同而不同,导致流过电流会改变

而在固定压力空间的灯丝其周围环境没有改变,所以其电流不会改变,如此一来将会产生补偿的作用,借以可以对比求出被测腔体的压力