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2018年04月20日

MKS复合真空规

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热阴极传感器
MKS 971 –UniMag冷阴极传感器 ​
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925微皮拉尼规+ 902压电陶瓷规(绝对压力) = 910复合规

测量范围: 1 x 10-5to 1500 Torr

925微皮拉尼规+ 902压电陶瓷规(相对压力) = 901复合规

测量范围: 1 x 10-5to 1000 Torr

909 热阴极电离规+ 925微皮拉尼规= 979复合规

测量范围: 3 x 10-10to 大气压

909 热阴极电离规+ 901复合规= 999全量程复合规

测量范围: 3 x 10-10to 1000 Torr