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2018年04月20日

射频与直流电源

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MKS HPS真空规系列
直流等离子体等离子电源
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KEINOS 系列

2 MHz 中频RF 等离子电源

新的KEINOS系列中频(2MHz)电源是MKS在行业中的最新产品..其建立在现有的可靠的2MHz中频电源的设计基础上,采用最新技术应用于要求脉冲,阻抗快速变化的短时间的工艺中.KEINOS可以提供高达13KW功率,脉冲高达50kHz,多点脉冲,脉冲整形和MKS专利的频率调谐。KEINOS采用集成VI功率传感器用于控制功率的精度和采用数字模块来控制快速响应时间。

 

NOVA® 系列

2 MHz 中频RF等离子电源

The NOVA-25 和NOVA-50 RF 功率电源在2 MHz 频率下可以提供2500 瓦和5000 瓦的输出功率。NOVA®系列电源有着先进的RF 等离子产生及其控制功能,能够满足大多数薄膜工艺应用对成本控制和产能提高的需求。NOVA RF 等离子电源是集成电路、平板显示器、数据存储器件制造中所使用的等离子增强化学气相沉积(PECVD)、高密度等离子CVD(HDPCVD)、刻蚀和其他薄膜工艺应用的理想等离子电源设备

Spectrum® 系列

2 MHz 中频RF等离子电源

Spectrum 2MHz 电源具有功率密度高、稳定性强、功率容限大等特点,能为客户节约更多的成本,不论是不同的硅园片间还是不同的工艺流程间它都具有更高的良品率, Spectrum2MHz RF 电源的输出功率为5000W和11000W。可选的自动频率调谐功能使得采用固定的匹配网络具有更快的调整速度、更佳的系统整体可靠性,并且降低了成本。Spectrum RF电源是等离子增强化学气相沉积(PECVD)、高密度等离子CVD(HDPCVD)、刻蚀和其他薄膜工艺应用的理想等离子电源设备。25 针模拟通讯和DeiceNet通讯及外接PDD可选。

GHW 系列

13.56 MHz高频 RF 等离子电源

GHW 系列RF 等离子电源能在13.56MHz 频率下稳定输出的最大功率为1250、2500 和5000W,。GHW 电源经使用验证具有高的可靠性、良好的稳定性和卓越的可重复性,能够长时间使用并获得良好的等离子工艺良率。GHW 系列RF 等离子电源是集成电路、平板显示器、数据存储器件制造中所使用的等离子增强化学气相沉积(PECVD)、高密度等离子CVD(HDPCVD)、刻蚀和其他薄膜工艺应用的理想等离子电源设备