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2018年04月20日

远程等离子体源系统

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AX7670 ASTRONi

远程等离子源

3.0 slm 额定流量

ASTRON○R i反应气体发生器的设计增加了气体的流量和工艺的灵活性。ASTRON○R i反应气体发生器减少了工艺过程中对Ar的需求量,可选择与现有反应气体兼容的点燃气体,从而增加了总气体流量,减少了工艺处理的时间和增加了产量。以低电场螺线管等离子的专利技术作为基础,ASTRON○R i能够提供更大范围的工作压力,而同时又能保持高的气体离解速率。ASTRON○R i是由电源、控制组件和等离子反应室构成,具有高可靠性和经过现场验证的设计结构,是一个易于集成的能‘活盖’式安装的紧凑型设备单元。ASTRON○R i反应气体发生器的基本应用是作为反应气体的远程源,来对CVD和FPD 工艺腔室内壁上不希望有的沉积物进行反应,因为在这些工艺反应腔室内需要进行多种多样的工艺处理。由它产生的原子氟与反应腔室内壁上的沉积物进行反应消除,所形成的新气体马上进行净化处理,以减小对环境的影响。与此同时,与原位RF方法相比,使用反应气体的远程源能减少对反应腔室壁的腐蚀损耗。

 

 

AX7685 ASTRONex

远程等离子源

6.0slm 额定流量

ASTRON○R ex 反应气体发生器具有高的产额、自带反应气体源、可用于反应室清洗等特征。ASTRON○R ex气体发生器使用了低电场螺线管等离子的专利技术,从而保证了输入气体能更加有效地离解,产生顺流的反应化学物。与其它反应室的清洗技术相比,ASTRON○R ex反应气体发生器的效率更高、拥有成本更低,能高效率地对多种源气体进行离解。

AX7645 ASTRONhf-s

远程等离子源

15.0slm 额定流量

ASTRON®hf-s远程等离子源设计提高了工艺灵活性并具有最佳的成本控制。ASTRON hf-s使用了低电场螺线管等离子的专利技术,可以提供最广泛的工作范围,携带其它高流量气体的NF3 最高流量可达15slm。独立的、活盖式安装的等离子部分和机架式安装的电源部分使该单元能与客户的反应腔室更紧密相连,提高了效率并降低了成本。