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2018年04月20日

臭氧产品系列

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SEMOZONAX8400 系列

臭氧发生器

SEMOZON AX8400 系列是一种高浓度、紧凑型超纯臭氧发生器,专门用于半导体制造中。臭氧是一种环境友好性气体,可用来替代很多工艺化学气体。臭氧具有强氧化性,可以在设备的使用端生成,也很容易反向转变成氧气。

 

 

 

SEMOZONAX8407

高浓度臭氧发生器

SEMOZON AX8407 是MKS高流量、紧凑型超纯臭氧发生器系列的新一代产品。通过设计上的改进,SEMOZON AX8407通过对拥有专利的MKS 单元技术和经实际验证的AX8000系列发生器设计的改进并进一步扩展了能力,在外形尺寸上具有最为优异的性能